仿真实训室

集成电路虚拟仿真实训中心解决方案

虚拟仿真实训中心从半导体产业发展对技能人才的需要出发，结合企业岗位实际能力要求，助力学校建设相应的课程体系和实训体系，并按照“理论教学-仿真实训-实际操作”打造“教学做创”一体化的实训室，真正实现“学中做、做中学”互动情景教学，着力将实训室打造成为技能教育的“第一课堂”，助力学生全面发展（知识+能力+素质）。

实训教室由硬件设备、软件系统及课件资源（核心，可拓展）等组成，采⽤虚拟仿真、虚拟现实技术⼿段浸⼊情境开展创新教学和个⼈实操，具有零⻛险、低成本、沉浸式、可逆性、数据化等优势。利用沉浸式交互和指导，通过实景仿真教学，帮助学生迅速上手，从而缩短培训时间并降低错误风险。

虚拟仿真软件包括晶圆制造工艺各个环节，如晶圆清洗与污染防护、氧化工艺、热处理工艺、光刻工艺（典型的MA曝光机虚拟课件、仿真课件）、刻蚀工艺、薄膜沉积工艺、金属化工艺、掺杂工艺，以及典型器件工艺技术，如MEMS器件制备实训、功率器件制备实训、光电器件制备实训等工艺教学课件。